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금속배선 함몰형 플렉시블 투명전극 기판 제작기술

   나노코리아 2011에 소개된 재료연구소의 주요 연구성과 중 나노표면과 관련된 ‘금속배선 함몰형 플렉시블 투명전국 기판 제작기술’을 소개한다.
  이 기술은 재료연구소 융합공정연구본부 기능박막연구그룹 강재욱 박사가 연구하고 있다.
  주로 유연 유기 태양전지나 유연 디스플레이 장치, RF-ID, 유연 PCB 등에 적용할 수 있다.
  이번에 개발된 기술은 플렉시블 태양전지 및 디스플레이의 핵심 소재인 투명전극기판 소재 기술이다. 이는 현재 많이 사용되고 있는 투명 전극인 ITO의 낮은 유연성을 개선할 수 있다. 또 면저항이 낮고 투과도가 높아 ITO를 대체할 수 있는 투명전극 기술로 평가된다.
  금속배선 함몰형 플렉시블 투명전극 기판은 그라비아-오프셋 프린팅 및 스프레이 코팅 공정을 활용해 상온, 상압 및 roll-to-roll 공정에도 적용할 수 있다.
  그라비아-오프셋 프린팅 공정을 이용해 Ag 배선을 제작하면 대기 중 공정으로 원가를 절감할 수 있고 패턴도 더욱 자유롭게 형성시킬 수 있다.
  또한 이 기술은 식각 공정이 없이 간편하게 금속 배선을 함몰할 수 있다. 이는 배선 높이에 제한을 받지 않고 낮은 저항 값의 금속 배선을 형성할 수 있다.

   강 박사는 투습방지막이나 마이크로-렌즈 등과 결합해 소자 성능을 향상시키는 기술도 개발했다.
  또한 플라즈마 표면 처리를 통해 기판의 접착력을 조절, 배선 함물 기판과 투명 전극의 품질과 성능을 동시에 향상시켰다.
  강 박사는 관련 기술에 대한 특허를 출원했으며 국내외 학회에서 발표하기도 했다.