규 격 서

품명 및 규격 Description	단위 Unit	수량 Quantity
사각 자장 여과형 진공 아크 소스 (Square Filtered Vacuum Arc Source : SFVAS)	set	1

◇ 특징

- PVD 코팅 방식 중 진공 아크 증발원을 이용하여 박막을 증착할 때 가장 문제가 되는 것이 거대입자임. 이를 제거하기 위하여 자장 필터가 부착되어져 있는 자장 여과형의 진공 아크 소스

- 플라즈마 인출구가 사각으로 그 크기가 가로 200 mm, 세로 1000 mm로 균일한 플라즈마를 인출할 수 있어야 함.

- 두 개의 사각 전자석과 다수의 영구자석으로 구성되어 있어 cathode에서의 아크 스팟 제어가 용의하고, 발생된 플라즈마의 균일성 및 수송을 제어할 수 있어야함.

- cathode를 금속(티타늄, 지르코늄, 마그네슘 등)으로 사용하고, 반응성 기체를 산소로 사용하였을 때, 산소에 의하여 cathode의 poissoning을 줄일 수 있는 구조여야 함.

- 아크에서 발생된 플라즈마에 의하여 반응성 기체인 산소기체를 플라즈마화 시킬 수 있는 구조로 아크소스와 이온소스가 병합된 구조여야 함.

- 140시간이상 cathode의 교환없이 연속 동작이 가능하여야 하며, cathode의 사용효율이 50%이상을 갖도록 하여야함.

◇ 소스의 구성

1. 음극 증발부

: cathode, anode, permanent magnet, 아크 전원, 소스 전자석 및 전원, magnetic yoke, magnetic shield, insulator, gas distributer

2. 아크 발생기구 및 플라즈마 생성부

: 자동촉발전극 및 구동장치, 아크 거동 관찰구, gas 주입구, 플라즈마 shield, 이중 냉각 방식의 housing

3. 자장 필터 및 플라즈마 인출부

: 인출 전자석 및 전원, 이중 자켓 방식의 플라즈마 덕트, 배플, cusp magnet

4. 산소 이온 발생부

: gas distributer, 선형 방식의 이온원 및 전원

◇ 상세 규격

No	상 세 규 격	수 량
1	◇ 음극 증발부 - adaptor flange (water cooling) : 1120 x 305 x 20 t : 1 ea - arc target : □75 x 25 t : 4 ea - anode magnet jacket(4000Gauss): ID 155 x OD 205 x 25t : 4 ea - cathode magnet jacket : □30 x 100 h : 4 ea - 아크 전원 : 80 V - 200 A, auto ignition : 4 set - source magnet : 350x1160x50t 320 turn 중심 자장 150 Gauss - source magnet power supply : DC50V-10A, 삼각파 전원 : 1 set - 기타 magnetic yoke, magnetic shield, insulator, gas distributer water cooling	1 set
2	◇ 아크 발생기구 및 플라즈마 생성부 - body( double jacket water cooling) : 1120 x 120 x 305 : 1 ea - 자동촉발전극 및 구동장치 : 90도 회전형 실린더, 절연 : 4 ea - 아크 거동 관찰구 : KF 40- shutter : 4 ea - gas 주입구 및 distributer : 2 ea - MFC : Ar 100 sccm, bellow valve : 2 set - 기타 floating electrode, Coating shield, anode,	1 set
3	◇ 자장 필터 및 플라즈마 인출부 - filter housing(double jacket water cooling) : 1120 x 305 x 135 : 1 set - filter magnet : 355x1170x80t, 580 turn, 중심자장 250 Gauss : 1 set - filter magnet power supply : DC50V-10A : 1 set - filtering baffle : 1030x946x150 : 1 set - cusp magnet array : 355x1170x50H, 중심자장 4000 Gauss : 1 set - magnet safety sheet : teflon - 기타 이탈착 가능 플렌지, water cooling, magentic yoke	1 set

No	상 세 규 격	수 량
4	◇ 산소 이온 발생부 - coaxial cylinder type plasma generator : □25 x 1000 mmH : 1 set - power supply : 300 V 10 A 정전류 정전압 방식 : 1 ea - MFC : O2 50 sccm, bellows valve : 2 set - 기타 electric feed- though : 500V 절연 30 A급, gas distributer	1 set
5	◇ 기 타 ♤ source 검수 spec. - source operation vacuum range: 5 x 10-6 torr - system leak rate : 1 x 10-9 mbar-liter/sec - Oxide film deposition rate : 30 nm/min - deposition uniformity : 900 x 150 영역에서 ± 5 % - 산소 플라즈마 발생 : max 8A - target erosion uniformity : ± 5 % - target 사용효율 : 50 % ♤ mechanicl & electrical polishing ♤ Automatic arc re-ignition ♤ 500℃에서 동작 가능하도록 냉각계통 구성 ♤ Safety - 사용 시 사용자의 safety를 위한 안전장치에 대한 자료 제시 - 정전, 단수 등 갑작스런 utility의 공급 중단 등과 같은 비상 상황에서의 장비보호 및 안전보장에 대한 기능 data 첨부 ♤ A/S 방안 - 납품 후 A/S에 대한 상세 방안 제시 ♤ Spare Parts - 1년간 사용에 필요한 spare part 제안서 제출 시 list 첨부 ♤ Operating manual : 2 set 제공 ♤ 납기 : 계약일로 부터 2개월