입 찰 규 격 서

품명 및 규격(Description)	단위(Unit)	수량( Quantity)
고진공 배기시스템 (Cryo pumping system)	set	2

◇ 특 징

- 본 고진공 배기 시스템은 본 기계연구원에서 기 제작된 In-line coating system의 추가 진공배기를 위하여 도입되는 것으로, Loading 및 unloading 부에 장착되어 사용될 예정임. 또한 기 도입된 시스템의 자동 제어시스템 software와 연계되어 동작하여야 함.

◇ 고진공 배기 시스템의 구성 및 상세 규격

No	상 세 규 격	수 량
1	◇ High Vacuum Pumping System 1. Cryo Pump Set 1) Cryo pump : ICP 300L (GENESIS) - High Vacuum, Low-profile - 12" I.D., three phase, valveless pump - Flange Type : ANSI 2) 2.1 Compressor(without hoses) - Single phase input(50/60 Hz, 200/208V), Three phase output - for use with ICP Pumps 3) Remote Temperature Monitor - 1 ch 4) Hose set 1/2" Straight, length-10(standard) 2. Throttle Valve Set 1) Type : Blind, ANSI 12" 2) Throttle valve controller 3) Baratron Sensor : Absolute Capacitance Manometer ( 0.1 torr VCR :MKS) 4) 1/4" bellows valve - 2 set 5) Cable : standard 5 M 3. Main Valve Set 1) Type : ANSI 10", Pneumatic 2) Vacuum seal : welded bellows used 3) Reduce adapter (12" - 10") - 2 set 4. Vacuum Fitting 1) Rough valve & piping : 4" angle valve 2) Fore line valve & piping : 1/2" VCR 3) Bellows valve 4) Leakage valve 5) Bellows tubing	2 set

2	◇ Features ▷ Vacuum Pressure - Untimate pressure : 5 x 10-7 torr 이하 - Pumping time : 저진공 ; 대기압 - 1 x 10-3 torr 까지 10분 이내 고진공 ; 저진공 ~ 1 x 10-6 torr 까지 40분 이내 - Main valve 차단하고, 24시간 경과시 1 x 10-2 torr 이하 진공도 유지 ▷ Pumping system - Vacuum valve : 활동부 seal은 welded bellows를 채택한 제품 사용. - Valve 는 모두 pneumatic으로 동작함. - Seal O-ring : 장비에 사용되는 모든 O-ring는 viton급 이상 채택 ▷ Electric controller - Automation & manual 기능, Safety lock
3	◇ 기 타 ▷ Safety - 사용 시 사용자의 safety를 위한 안전장치에 대한 자료 제시 - 정전, 단수 등 갑작스런 utility의 공급 중단 등과 같은 비상 상황에서의 장비보호 및 안전보장에 대한 기능 data 첨부 ▷ 기 설치된 자동제어 시스템에(PLC 및 컴퓨터 자동제어) 호환 ▷ A/S 방안 - 납품 후 A/S에 대한 상세 방안 및 1년간 사용에 spare part시 list 첨부 ▷ 납기 : 계약일로부터 2개월